Tras haber aplicado el protector, las obleas se transportan por una guía o se llevan a mano desde la centrifugadora a un horno con temperatura controlada y atmósfera de nitrógeno. Una temperatura moderada (de 70 a 90 °C) provoca el endureci- miento (cocido suave) de la fotoprotección y la evaporación de los restos de disolventes.
Para garantizar la adherencia de la capa de protector a la oblea, se aplica a ésta una imprimación de hexametildisilizano (HMDS). El imprimador liga el agua molecular existente en la superficie de la oblea. El HMDS se aplica directamente en un proceso de inmersión o giro o mediante una imprimación al vapor que ofrece ventajas de proceso y coste sobre los demás métodos.
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