Implantación iónica (II)

Con la llegada de un sistema seguro de suministro de las bote- llas de gas de arsina, fosfina y trifluoruro de boro utilizadas en los implantadores de iones, las posibilidades de liberación catas- trófica de estos gases se han reducido en gran medida. Estas pequeñas botellas de gas se llenan con un compuesto al que se adsorben la arsina, la fosfina y el trifluoruro de boro. Los gases se extraen de la botellas mediante la formación de vacío.
Los implantadores de iones son uno de los peligros eléctricos más importantes en el sector de semiconductores. Aunque estén apagados, en el instrumento existe un potencial importante de descarga que ha de ser disipado antes de trabajar dentro del implantador. Una revisión cuidadosa de las operaciones de antenimiento y de los peligros eléctricos está justificada en todos los equipos recién instalados, pero especialmente en los implantadores de iones.
Durante el mantenimiento de las criobombas de los implanta- dores de iones se han encontrado exposiciones a hidruros (probablemente a una mezcla de arsina y fosfina) de hasta 60 ppmm (Baldwin, Rubin y Horowitz 1993). También pueden haberse desprendido altas concentraciones de arsina y fosfina de piezas contaminadas de implantadores que se han desmontado durante el mantenimiento preventivo (Flipp, Hunsaker y Herring 1992).
Para limpiar superficies de trabajo contaminadas por arsénico en zonas de implantación iónica se utilizan depuradores portátiles de vacío con filtros de aire particulado de alta eficacia (HEPA). Se han medido exposiciones superiores a 1.000 g/m3 cuando se ha procedido a la depuración incorrecta de las extrac- ciones de los HEPA. Las extracciones de los HEPA, cuando se descargan en el lugar de trabajo, pueden difundir también el olor característico, como de hidruro, asociado a la limpieza de la línea del haz en los implantadores de iones (Baldwin, Rubin y Horowitz 1993).
Si bien constituye una preocupación, no se han publicado informes de exposiciones significativas a las impurezas gaseosas durante los cambios de aceite de las bombas de vacío empleadas con impurezas—quizás porque lo normal es hacerlo en sistema cerrado. La falta de informes de exposición puede ser también consecuencia de los bajos niveles de desprendimiento de hidruros del aceite usado.