Revelado

Durante el paso de revelado, las superficies del protector no poli- merizadas son disueltas y eliminadas. A la superficie de la oblea cubierta por el protector se aplica un revelador a base de disol- ventes mediante la inmersión, el rociado o la atomización. Las soluciones de revelador se identifican en la Tabla 83.1. Después del revelador suele aplicarse un lavado con disolvente (acetato de n-butilo, alcohol isopropílico, acetona, etc.) para eliminar cualquier material residual. El protector que permanece tras el reve- lado protege las capas individuales durante el proceso posterior.