La oblea revelada se somete después a un grabado selectivo mediante sustancias químicas húmedas o secas (véase “Grabado” a continuación). Los restos de fotoprotector tienen que eliminarse de la oblea antes de continuar el proceso. Para ello, se emplean soluciones químicas húmedas en baños con temperatura contro- lada, un incinerador de plasma o un producto químico seco. En la Tabla 83.2 se identifican los agentes químicos húmedos y secos. A continuación se explica el grabado en seco por plasma químico, en que se utilizan el mismo equipo y los mismos princi- pios de operación que para la incineración por plasma.
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