Ultravioleta
Cercano (350–450 nm) Negativos PB Goma alifática de base azida (isopreno)
S acetato de n-butilo, xileno, n-metil-2-pirrolidona, etilbenceno
D Xileno, hidrocarburos alifáticos, acetato de n-butilo, disolvente de Stoddard (producto
de la destilación del petróleo)
Positivos
|
PB
|
Orto-diazocetona
|
|
S
|
Acetato de éter-monometil-glicol-propileno,
lactato
de
etilo,
metoxi-propionato
de
|
Lejano (200–250 nm) Protectores principalmente positivos
Haz de electrones (en torno a 100 nm)
metilo, etoxi-propionato de etilo, acetato de n-butilo, xileno, clorotolueno
D Hidróxido sódico, silicatos, hidróxido potásico
Rayos X (0,5–5 nm)
Negativos PB Copolímero-acrilato de etilo y metacrilato de glicidilo (COP)
S n/a
D n/a
Positivos PB Polimetilmetacrilato, polifluoralquilmetacrilato, polialquilaldehído, poli-ciano etilacrilato
S Acetato de éter-monometil-glicol-propileno
D Alcalinos o IPA, acetato de etilo o metil-isobutil cetona (MIBK)
Negativos
|
PB
|
Copolímero-acrilato de
etilo
y metacrilato
de
glicidilo
(COP)
|
|
S
|
n/a
|
|
D
|
n/a
|
Positivos
|
PB
|
Polimeilmetatacrilato,
orto-diazocetona,
(poli)
hexafluorobutilmetacrilato,
(poli)
|
buteno-1-sulfona
S Acetato de éter-monometil-glicol-propileno
D n/a
PB
= base
de
polímeros;
S = disolvente;
D = revelador.
No hay comentarios:
Publicar un comentario