Litografía

La litografía, conocida también como fotolitografía o enmascara- miento, es un método de formar patrones exactos sobre la oblea oxidada. El microcircuito electrónico se construye capa por capa, y cada una de éstas recibe un patrón de una máscara especificada en el diseño del circuito.

Los oficios de impresión desarrollaron los antecedentes verdaderos de los procesos actuales de microfabricación de dispositivos semiconductores. Estos avances son los relativos a la fabri cación de planchas de impresión, por lo común metálicas, sobre las que la eliminación de material mediante mordientes químicos produce un patrón en relieve superficial. Esta misma técnica básica es la utilizada en la producción de las máscaras maestras empleadas en la fabricación de cada capa del procesa- miento de un dispositivo.

Los proyectistas de circuitos digitalizan el sistema de circuitos básico de cada capa. Este esquema computarizado permite la generación rápida de los sistemas de circuitos de la máscara y facilita la realización de los cambios que puedan ser necesarios. Esta técnica se conoce como diseño asistido por ordenador

(CAD). Con ayuda de potentes algoritmos de ordenador, estos sistemas de diseño en línea permiten al proyectista disponer y modificar el sistema de circuitos sobre la misma pantalla de visualización con funciones de gráficos interactivas.

El dibujo final, o máscara, de cada capa de circuitos es creada por un ploter, o generador de patrones, controlado por ordenador. Estos dibujos obtenidos con el ploter se reducen después al tamaño real del circuito, una máscara maestra practicada sobre vidrio con relieve en cromo, y luego se reproducen en una placa de trabajo que sirve para la impresión por contacto o proyección sobre la oblea.

Estas máscaras delimitan el modelo de las zonas conductoras y aisladoras que se transfieren a la oblea mediante fotolitografía. La mayoría de las empresas no fabrican sus propias máscaras, sino que utilizan las suministradas por un fabricante de máscaras.