En la oxidación instantánea, se procede al goteo continuo de agua desionizada en la superficie caliente del fondo de un recipiente de cuarzo, donde el agua se evapora en seguida al chocar con la superficie caliente. Una corriente de gas portador de nitrógeno u oxígeno pasa por encima del agua en evaporación y arrastra el vapor de agua hasta el horno de difusión.
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