La necesidad de que la superficie exterior de la oblea se encuentre libre de partículas y contaminación exige una limpieza frecuente. Los métodos de limpieza principales son:
• lavado con agua desionizada y detergente;
• disolvente: alcohol isopropílico (IPA), acetona, etanol, terpenos;
• ácido: fluorhídrico (HF), sulfúrico (H2SO4) y peróxido de hidrógeno (H2O2), clorhídrico (HCl), nítrico (HNO3) y mezclas;
• cáustico: hidróxido de amonio (NH4OH).
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