La evaporación por haz de electrones, llamada a veces E-beam

La evaporación por haz de electrones, llamada a veces E-beam, utiliza un haz de electrones enfocado para calentar el material de metalización. Se genera un haz de electrones de alta inten- sidad de manera similar al creado en el tubo de un televisor. Una corriente de electrones es acelerada mediante un campo eléctrico, generalmente de 5 a 10 kV, y enfocada sobre el mate- rial a evaporar. El haz de electrones enfocado funde el material contenido en un bloque refrigerado por agua con una depresión grande llamada crisol. El material fundido se vaporiza en la cámara de vacío y se condensa sobre las obleas frías y sobre toda la superficie de la cámara. Después se ejecutan las opera- ciones estándar de fotoprotección, exposición, revelado y grabado húmedo o seco para delinear la intrincada circuitería metalizada.